אפלייד מטיריאלס השיקה מערכת שפותחה בישראל המבוססת על טכנולוגיה לאיתור תקלות בשבבים

אפלייד מטיריאלס (Applied materials) הודיעה היום (ד') על השקת דור חדש של טכנולוגיית בקרת איכות למסכות ליתוגרפיה, שמאפשרת ייצור שבבים בגודל 22 ננומטר. המערכת, Aera3, פותחה ומיוצרת בישראל, ומדגימה את התרומה של אפלייד מטיריאלס ישראל לייצור מוצרי אלקטרוניקה חדשים בעולם – בהם iPad ,iPhone4 וכן קונסולות המשחקים xBox ו-Playstation .

הטכנולוגיה בבסיס Aera3 מאפשרת סריקה באמצעות לייזר תחת תנאים אופטיים המדמים את אלה המתקיימים במכונת הליתוגרפיה להדפסת השבבים (Scanner). היא מפיקה "תמונה אווירית" (Aerial Imaging), המדמה את מה שפרוסת הסיליקון "רואה" דרך המסכה. באמצעות זאת חוזה המערכת במדויק אילו פגמים יודפסו על פרוסת הסיליקון וישפיעו על פעולת השבב, ומסננת כמות גדולה של פגמים שבסופו של דבר לא ישפיעו כלל על פעולתו. יכולת זו, על פי החברה, היא קריטית בדור החדש של שבבים – 22 ננומטר ומטה – שטכנולוגיות קיימות אינן מסוגלות להתמודד בהם עם האתגר הטכנולוגי ולהגיע לרמת דיוק נדרשת וליכולת חיזוי אמינה.

כמו כן, מספקת המערכת החדשה יכולת לסריקת מסכות EUV. מסכות אלה מהוות את הדור הבא של עולם הליתוגרפיה, שיאפשר ליצרני השבבים לייצר בטכנולוגיה של מתחת ל-20 ננומטר. טכנולוגיית ה-EUV נמצאת בתהליכי פיתוח אצל היצרנים המובילים בעולם.

מסכות ליתוגרפיות משמשות יצרני שבבים כגלופות להדפסת פרוסות הסיליקון בשכבות, כאשר מסכה אחת משמשת להדפסת מאות שבבים. לאיתור פגמים במסכות חשיבות רבה, שכן אי איתורן פוגם ישירות בשבבים עצמם במהלך ההדפסה.

אפלייד מטיריאלס ישראל נכנסה לשוק בקרת האיכות למסכות ליתוגרפיות ב-2008. היקפו הכספי של שוק זה נאמד אז על ידי גרטנר דטהקווסט (Gartner Dataquest) על 350 מיליון דולרים.

רונן בנציון, סגן נשיא אפלייד מטיריאלס העולמית ומנכ"ל אפלייד מטיריאלס ישראל, אמר, כי המערכת החדשה היא "תוצאה של שיתוף פעולה הדוק עם לקוחותינו". לדבריו, "המערכת מטפלת בכל יישומי בקרת האיכות לדור הבא של מסכות, ומהווה כלי לייצור מהיר והמוני של שבבים. המערכת, Aera3, כבר הוזמנה על ידי יצרנים מובילים של מסכות ושל שבבים, ולהערכתנו – זה סימן חיובי לבאות וסימן ליכולתנו להצליח בשוק אסטרטגי זה".